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DE10115577A1 - Scanmikroskop mit mehrbandiger …

Es ist ein Scanmikroskop offenbart, durch das eine Probe (14) beleuchtbar und detektierbar ist. Ein Beleuchtungs- und Detektionspinhole (10, 16) ist jeweils im Beleuchtungs- bzw. im Detektionsstrahlengang (8, 15) angeordnet, wobei im Beleuchtungsstrahlengang (8) ein optisches Bauelement (4) vorgesehen ist, das ein zumindest teilweise spektral verbreitertes Beleuchtungslicht …

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